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离子束抛光加工镜面,效果不理想,粗糙度变大?

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发表于 2017-5-16 17:02:27 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 | 阅读模式


找别人用离子束抛光的方法加工镜面,材质为Cu,边缘一圈由于加工量比较大,
所以轰击时间比较久(去除量估计在几百nm级别),结果该区域本来很反光(粗糙度Rq~1 nm),
轰击后变得很粗糙,无镜面效果。请问这是因为什么原因造成的呢?因为轰击造成Cu结晶了?

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